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壓力傳感器應用原理說明
時間: 2023-12-27 09:20:40 瀏覽次數(shù)：
隨著工業(yè)技術的快速開展，壓力傳感器在精細測星范疇的應用市場前景越來越廣詞。MEMS壓力傳感騾應運而生。與傳特的壓力傳感器相比，MENMS壓力傳感器不只體積小，而且現(xiàn)星精度高，功耗低，本錢低。大多數(shù)MEMS壓力傳感器的壓力元件是硅膜片。根櫻下同的敏)感機制)，MENS壓力傳感器能夠分為三種壓阻式、電容式調和振式。其中，硅壓阻力IMEMS壓力傳感器采用高精度半導體電阻應變片，構成惠斯頓。
壓力傳感器的規(guī)范流程如下首先，將四個電阻應變片注入拋光的硅襯底，電阻應變片設計在硅珪摸外表應力大的中央，構成惠斯頓電橋。然后，在圖片的反面，從硅片的中間獨刻出一個應力杯。鍵合圓片的反面。依據(jù)產品應用，能夠在應力杯中拉真空制造絕壓MEMS設備，也能夠堅持應力杯與大氣的銜接，制成表壓MENS設備。產品封裝后，當珪膜兩風的壓差發(fā)作變H時，應力硅膜會發(fā)作彈性變形，毀壞原有的惠斯頓電橋電路均衡，從而產生—個電橋。
壓力傳感器的規(guī)范流程如下首先，將四個電阻應變片注入拋光的硅襯底，電阻應變片設計在硅珪摸外表應力大的中央，構成惠斯頓電橋。然后，在圖片的反面，從硅片的中間獨刻出一個應力杯。鍵合圓片的反面。依據(jù)產品應用，能夠在應力杯中拉真空制造絕壓MEMS設備，也能夠堅持應力杯與大氣的銜接，制成表壓MENS設備。產品封裝后，當珪膜兩風的壓差發(fā)作變H時，應力硅膜會發(fā)作彈性變形，毀壞原有的惠斯頓電橋電路均衡，從而產生—個電橋。
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